光学读出红外成像及其FPA性能分析  

Performance analysis of FPA for optical doutl3tical readout uncooled inftrared imaging

作　　者：高杰[1] 焦斌斌[2] 陈大鹏[2] 董凤良[1] 张青川[1] 缪正宇[1] 熊志铭[1] 伍小平[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室,安徽合肥230027 [2]中科院微电子研究所,北京,100029

出　　处：《红外与激光工程》2007年第z1期101-104,共4页Infrared and Laser Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10472111,10627201)

摘　　要：针对已提出的光学读出非制冷红外成像系统,设计研制了一种单元尺寸分别是50 μm×50μm和60 μm×60 μm的新型双材料微悬臂梁红外焦平面阵列(FPA),进行了人体红外热成像实验,并对光学读出非制冷红外成像系统的温度-灰度响应曲线及噪声进行了测定.实验结果表明该微梁结构FPA构成的红外成像系统的噪声等效温度差(NETD)约100 mK.和课题组之前的研究结果(微梁单元尺寸120μm×120μm,NETD约300 mK)相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善.

关 键 词：非制冷红外成像 双材料微悬臂梁 光学读出 焦平面阵列 

分 类 号：TB331[一般工业技术—材料科学与工程] TN216[电子电信—物理电子学]