PVAC抑制PT铁电薄膜裂纹的研究  

Research on Suppressing Crack Formation in the PT Ferroelectric Thin Film by PVAC

作　　者：李海燕[1] 吴小清[1] 郝海燕[1] 姚熹[1] 任巍[1] 张良莹[1] 

机构地区：[1]西安交通大学,陕西,西安,710049 西安交通大学,陕西,西安,710049 西安交通大学,陕西,西安,710049 西安交通大学,陕西,西安,710049 西安交通大学,陕西,西安,710049 西安交通大学,陕西,西安,710049

出　　处：《稀有金属材料与工程》2005年第z2期986-989,共4页Rare Metal Materials and Engineering

基　　金：国家自然科学基金(60377035)和"973"计划子项目(2002CB613305)

摘　　要：用金属有机物热分解法,通过添加聚醋酸乙烯酯(PVAC),将PbTiO3(PT)薄膜的单层厚度提高到0.78μm;利用红外光谱、扫描电镜和XRD等分析手段研究了PT先驱体的反应机理、PT薄膜的表面形貌及相结构,讨论了PVAC抑制裂纹产生的原因.结果表明:PVAC能与钛酸四丁酯生成聚乙烯钛酸三丁酯,并且能与溶剂乙二醇乙醚形成氢键,这有利于立体网状结构的形成,这种网状结构增强了薄膜的弹性,抑制了裂纹的产生;同时PVAC的加入使PT薄膜的晶化温度从550℃降低到500℃.

关 键 词：金属有机物热分解 聚醋酸乙烯酯 PbTiO3薄膜 单层厚度 抑制裂纹产生 

分 类 号：TN304.9[电子电信—物理电子学]