微型机械材料的力学特性测量  

Measurement of Mechanical Properties for Micromachining Materials

作　　者：何日晖[1] 叶雄英[1] 周兆英[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系

出　　处：《中国机械工程》2001年第z1期201-204,共5页China Mechanical Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目

摘　　要：概述了国内外 MEMS材料力学特性的测量原理、方法和特点 ,主要包括弹性模量、残余应力、疲劳特性、破坏强度的测量 ,为微机电系统的设计和制造提供有益的参考。Thin film materials are the main materials used in MEMS (Microelectromechanical Systems).The mechanical properties determine the performance and reliability of micromachined devices.This paper outlines methods of measurement of mechanical properties,where elastic modulus,residual stress,fatigue and fracture property are mainly concerned.

关 键 词：微型机械 力学特性 弹性模量 残余应力 疲劳特征 破坏强度 

分 类 号：TH113[机械工程—机械设计及理论]