一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究  

Research and Design of High Precision Micro Air-leakage Detector

作　　者：唐月生[1] 伍先达[1] 李锋[2] 万莅新[2] 邢武[2] 

机构地区：[1]中国科学院合肥智能机械研究所,合肥230031 [2]安徽中科智能高技术有限公司,合肥230088

出　　处：《仪器仪表学报》2002年第z3期59-62,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：密封器件气密性检测是一项重要的安全检测之一 ,这里采用微差压原理 ,利用高精度差压传感器、精密对称气路和单片机测控系统组成测试装置 ,实现了对一定容积和压力下密封器件气密性的高精度检测。介绍了该检测仪的工作原理、硬件软件结构和系统性能。Airproof component airtight detection is one of important safety detections.In this paper,the device is introduced,which composed of high-precision micro differential pressure sensor,rigid symmetry air pipe loop and microchip system by using micro differential pressure principle,realizing airproof component's high-precision airproof detection under certain pressure and cubage.The principle,the hardware and software construction and its performance are discussed.

关 键 词：微差压原理 高精度 传感器 气体泄漏检测仪 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]