光子晶体垂直腔型表面发射和接收光电子器件  

Photonic Crystal Vertical Cavity Surface Emitting and Detecting Photodiodes

作　　者：宋倩[1,2] 许兴胜[2] 胡海洋[2] 鲁琳[2] 王春霞[2] 杜伟[2] 刘发民[1] 陈弘达[2] 

机构地区：[1]北京航空航天大学理学院,北京100083 [2]中国科学院半导体研究所,光电子研发中心,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2007年第z1期509-512,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金资助项目(批准号:60345008,60377011,60537010)

摘　　要：介绍了制作光子晶体垂直腔面发射激光器实验研究的主要内容,包括材料的光谱测试分析、氧化工艺以及制作光子晶体等,成功制作了波长在980nm附近的光子晶体垂直腔面发射激光器.在此基础上,采用高精度湿法腐蚀和感应耦合等离子体干法刻蚀技术,研究制作了基于垂直腔面发射激光器外延材料的光子晶体谐振腔增强型探测器.

关 键 词：光子晶体 垂直腔面发射激光器 光子面阵集成 谐振腔增强型光电探测器 

分 类 号：TN248.4[电子电信—物理电子学]