温度和脉冲频率对三维原子探针测试结果的影响  

Dependence of Three-Dimensional Atom Probe Analysis on Temperature and Pulse Repetition Rate

作　　者：刘文庆[1] 周邦新[1] 刘庆冬[1] 

机构地区：[1]上海大学分析测试中心,上海,200444 上海大学分析测试中心,上海,200444 上海大学分析测试中心,上海,200444

出　　处：《真空科学与技术学报》2007年第z1期53-56,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

摘　　要：在不同的温度和脉冲频率下,用三维原子探针对Cu-Fe-Ag合金进行测试.结果表明,温度和脉冲频率对原子电离的价态有影响;随着温度的升高,Cu原子以Cu+电离蒸发的比例增加,以Cu2+电离蒸发的比例减少.随着脉冲频率的提高,Cu原子以Cu+电离蒸发的比例减少,以Cu2+电离蒸发的比例增加.温度和脉冲频率对合金成分的测量结果没有影响,对元素同位素丰度的测量结果也没有影响.

关 键 词：三维原子探针 温度 脉冲频率 

分 类 号：TB773[一般工业技术—真空技术]