洁净厂房用漏液检测报警系统简介  

Introduction to Liquid Leakage Test & Alarm System Used in Cleanroom

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作  者:刘建勋 

机构地区:[1]上海华虹NEC电子有限公司动力部

出  处:《洁净与空调技术》2010年第3期56-58,共3页Contamination Control & Air-Conditioning Technology

摘  要:主要介绍用于洁净厂房内的漏液检测系统以及相关产品的功能、安装、报警处理等。Liquid leakage test system used in cleanroom was explained, in cluding the function, intallation and alarm procedures of the associated products.

关 键 词:洁净厂房(Cleanroom) 漏液检测线/带(leakagesensor) 

分 类 号:TP277[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

参考文献:

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二级参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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相关期刊文献:

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