光学工艺  

出　　处：《中国光学与应用光学》2007年第3期96-98,共3页Chinese Optics and Applied Optics Abstracts

关 键 词：棒状透镜 球透镜 原位检测技术 光刻机 掩模 光学工艺 积分透镜 电子束光刻 电子束加工 照明均匀性 准分子激光 不平度 同步辐射 磁轫致辐射 轫致辐射 光刻胶 光致抗蚀剂 辅料 波导器件 自动对准 相位掩模板 聚焦离子束 超声磨削 

分 类 号：O439[机械工程—光学工程]