GEM膜碱刻工艺的初步研究  

作　　者：周静 单超 李笑梅 胡守扬 叶力 白新站 蹇思玉 周书华 

机构地区：[1]核物理研究所

出　　处：《中国原子能科学研究院年报》2012年第1期87-87,共1页

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11175262,11020101060,10875174)

摘　　要：正GEM(Gas Electron Multiplier)探测器是由CERN(欧洲核子中心)的F.Sauli等在1997年发明的,是微型气体探测器的典型代表。目前,GEM探测器广泛应用于国际上几个大型的实验装置或升级项目中,如美国的JLab实验室(杰佛逊国家实验室)正在进行的12GeV升级改造项目中Hall A上的SoLID谱仪,其上就分布有GEM探测器。

关 键 词：气体探测器 实验装置 国家实验室 腐蚀速率 子中心 改造项目 蚀刻工艺 升级 正在进行 膜结构 

分 类 号：TL811[核科学技术—核技术及应用]