高纯石英质量的ICP检测技术初步研究  

作　　者：王艳[1] 汪灵[1,2] 李彩侠[1] 段炯然[1] 夏瑾卓 

机构地区：[1]成都理工大学材料与化学化工学院,四川成都610059 [2]成都理工大学金刚石薄膜研究所,四川成都610059

出　　处：《矿物学报》2012年第S1期116-117,共2页Acta Mineralogica Sinica

基　　金：国家公益性行业科研专项经费项目课题(201011005-5);国家自然科学基金(批准号:50974025);国家教育部高等学校博士点基金(20095122110015);国家人事部留学人员科技活动择优基金(川人社函[2010]32号)

摘　　要：高纯石英(high-purity quartz)是指w(SiO2)≥99.9%～99.999%(3N至5N)、w(Fe)【10×10-6的石英(汪灵等,2011),它是晶硅、石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在新能源和新材料等战略性新兴产业具有重要的地位和作用(汪灵等,2011;雷清普等,

关 键 词：高纯石英 检测效果 测试结果 反应时间 质量 试剂 石英玻璃 集成电路 微量杂质 消解 

分 类 号：P57[天文地球—矿物学]