锥形光栅衍射特性分析  

Diffraction Property of Tapered Grating

作　　者：吴琼[1] 杨静[1] 袁波[1] 林斌[1] 钱劲松 

机构地区：[1]浙江大学现代光学仪器重点实验室国家光学仪器工程技术研究中心,杭州310027 [2]南京百花光电有限公司总装3304工厂,南京210008

出　　处：《光子学报》2011年第S1期99-102,共4页Acta Photonica Sinica

基　　金：浙江省自然科学基金(No.Y1090391);中央高校基本科研业务费专项资金资助

摘　　要：针对光学绝对式编码器的分辨率和尺寸之间的矛盾,自行设计了一种锥形光栅进行高位细分.以夫琅和费衍射理论为基础,分析了锥形光栅的光学衍射特性,初步推导了利用锥形光栅实现光学细分的基本原理,并通过实验验证了上述的理论分析结果.针对光学绝对式编码器的分辨率和尺寸之间的矛盾,自行设计了一种锥形光栅进行高位细分.以夫琅和费衍射理论为基础,分析了锥形光栅的光学衍射特性,初步推导了利用锥形光栅实现光学细分的基本原理,并通过实验验证了上述的理论分析结果.

关 键 词：锥形光栅 光学编码器 夫琅和费衍射 

分 类 号：O43[机械工程—光学工程]