轮廓拼接在光学非球面超精密坐标测量中的应用  

Application of Profile Matching Method in Ultra-precise Coordinate Measurement of Optical Aspherics

作　　者：贾立德[1] 王家伍[1] 李婷[1,2] 郑子文[2] 

机构地区：[1]中国酒泉卫星发射中心,兰州732750 [2]国防科技大学机电工程与自动化学院,长沙410073

出　　处：《航空精密制造技术》2010年第3期12-17,共6页Aviation Precision Manufacturing Technology

基　　金：自然科学基金重点项目(NO.50535020)

摘　　要：针对光学非球面的高精度检测问题,研究了轮廓拼接技术在超精密导轨直线度误差的分离与补偿,大型非球面镜测量过程中传感器量程的扩展,以及高陡度保形光学非球面面形检测三个方面的应用。试验表明:利用轮廓拼接方法能够高精度的重构出面形轮廓,扩展系统的测量能力,方法简单,实用。针对光学非球面的高精度检测问题,研究了轮廓拼接技术在超精密导轨直线度误差的分离与补偿,大型非球面镜测量过程中传感器量程的扩展,以及高陡度保形光学非球面面形检测三个方面的应用。试验表明:利用轮廓拼接方法能够高精度的重构出面形轮廓,扩展系统的测量能力,方法简单,实用。

关 键 词：坐标测量 轮廓拼接 轮廓测量 保形光学 

分 类 号：V26[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]