KDP晶体超精密加工机床静压主轴轴向变形分析  

Analysis on Axial Deformation of the Aerostatic Spindle of Ultra-precision Machine Tool for KDP Crystal

作　　者：赵自强[1] 卢礼华[1] 梁迎春[1] 张龙江[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨150001

出　　处：《航空精密制造技术》2010年第2期6-8,20,共4页Aviation Precision Manufacturing Technology

摘　　要：通过建立KDP晶体超精密加工机床气体静压主轴的三维有限元模型,在考虑主轴装配的接触关系和螺钉预紧力的情况下,计算得到了主轴结构在工作状态下的变形。计算结果表明,由于结合面和主轴受拉伸长,轴承气膜间隙增大;气体压力导致止推板从中心到边缘发生翘曲变形,止推轴承的气膜为楔形。实验结果表明,有限元模型的计算误差小于11%。通过建立KDP晶体超精密加工机床气体静压主轴的三维有限元模型,在考虑主轴装配的接触关系和螺钉预紧力的情况下,计算得到了主轴结构在工作状态下的变形。计算结果表明,由于结合面和主轴受拉伸长,轴承气膜间隙增大;气体压力导致止推板从中心到边缘发生翘曲变形,止推轴承的气膜为楔形。实验结果表明,有限元模型的计算误差小于11%。

关 键 词：气体静压主轴 有限元分析 轴承刚度 

分 类 号：V26[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]