多孔硅微腔光学晶体的结构调控和生化传感器  

作　　者：蔡林涛[1] 时喜喜[1] 李莎[1] 

机构地区：[1]中国科学院深圳先进技术研究院,生物医学与健康工程研究所中国科学院生物医学信息与健康工程学重点实验室,深圳西丽大学城518055

出　　处：《生物物理学报》2009年第S1期57-57,共1页Acta Biophysica Sinica

摘　　要：微腔光学晶体是由一系列高/低孔隙率的硅刻蚀层组成的,这种刻蚀层是对单晶硅进行电化学腐蚀而得到的具有纳米孔径的多孔硅微纳结构。

关 键 词：多孔硅 微腔光学晶体 纳米生物技术 生化传感器 

分 类 号：Q503[生物学—生物化学]