激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术  

Optical Polishing and Test Technology of Superpolishing Mirror Substratum for Laser Gyroscope

作　　者：王金林[1] 陈明[2] 韩荣久[3] 刘伟奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吴清文中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 裴舒[3] 

机构地区：[1]西安飞行自动控制研究所,西安710065 [2]西北工业大学,西安710072 [3]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春130022

出　　处：《航空精密制造技术》2003年第2期5-9,共5页Aviation Precision Manufacturing Technology

摘　　要：讨论了激光陀螺超光滑光学反射镜基片的加工和检测技术,并给出了超光滑光学基片的非接触光学测量仪和原子力显微镜的测试图。还论述了原子力显微镜测试的准确性以及超光滑光学表面的分形特征。Optical polishing and test technolo gy of superpolishing mirror substra tum for laser gyroscope are discussed.Some test diagrams of non contact optical test device and atom ic force microscope are presented.T he metrological accuracy of atomic force microscope and the fractal properties of superpolishing surface are described.

关 键 词：激光陀螺 浮法抛光 相移干涉 原子力显微镜 分形 

分 类 号：TH744.5[机械工程—光学工程]