气体激光器  

出　　处：《中国光学》2002年第2期20-22,共3页Chinese Optics

摘　　要：TN248.2 2002020945光栅掠入射腔对 ArF 激光线宽的压缩和调谐=Com-pression of spectral width and wavelengh tune ofArF lasers by using swept grating[刊,中]/陈进,王杰,王鹏,姚建铨(天津大学精密仪器与光电子工程学院,教育部光电信息技术科学重点实验室.天津(300072))∥光电子·激光.—2001,12(5).

关 键 词：铜蒸汽激光器 光电子 印刷电路板预电离 强激光 精密仪器 光栅掠入射 分段表面放电 信息技术科学 激光输出 辐射源 

分 类 号：TN248.2[电子电信—物理电子学]