光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展  

New progress in optically excited and interrogated micromachined silicon resonant sensor

作　　者：吴浩扬[1] 李炳乾[1] 朱长纯[1] 刘君华[1] 

机构地区：[1]西安交通大学

出　　处：《半导体光电》1999年第1期7-10,共4页Semiconductor Optoelectronics

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展，并就该领域未来的发展作了展望。Optically excited and picked micromachined silicon resonant sensors are introduced based on the basic principle.Recent progress in pressure and temperature sensors and the future trend in this field are also discussed.

关 键 词：硅微机械 谐振传感器 光激励 光拾取 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]