INVESTIGATION OF SENSITIVITY FOR SILICON MICROMECHANICAL TUNING-FORK GYROSCOPE  

INVESTIGATION OF SENSITIVITY FOR SILICON MICROMECHANICAL TUNING FORK GYROSCOPE

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作  者:阮爱武 李万玉 冯培德 

出  处:《Chinese Journal of Aeronautics》1998年第1期56-61,共6页中国航空学报(英文版)

摘  要:INVESTIGATIONOFSENSITIVITYFORSILICONMICROMECHANICALTUNING┐FORKGYROSCOPERuanAiwa(阮爱武)1,LiWanyu(李万玉)2,FengPeide(冯培德)31Automatic...

关 键 词:MICROMECHANICS GYROSCOPES tuning  fork gyroscopes quality factor resonant frequencies sensitivity 

分 类 号:TN349[电子电信—物理电子学]

 

参考文献:

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