精密可控微位移器实验研究  

作　　者：芮小健[1] 张幼桢 颜景平[1] 钟秉材 

机构地区：[1]南京航空航天大学,东南大学

出　　处：《航空精密制造技术》1994年第1期10-12,共3页Aviation Precision Manufacturing Technology

摘　　要：介绍了微位移器的静、动态特性，实验结果表明：ＩＰ１型微位移器线性度可达０．１２％，重复精度为０．０１μｍ。还比较了ＩＰ１型和ＥＬＳ１型微位移器的性能区别供应用选择时参考．

关 键 词：压电陶瓷 微位移器 特性 

分 类 号：TN712.5[电子电信—电路与系统]