双维工作台空气静压导轨研制  

作　　者：熊锋[1] 

机构地区：[1]电子工业部第四十五研究所

出　　处：《电子工业专用设备》1993年第3期16-23,共8页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：本文着重介绍了一种由空气静压止推轴承组成的空气静压导轨,论述了其结构原理、数据及实用化过程中解决的关键技术难题。为高精度工作台提供了一种良好的导轨机构。

关 键 词：空气静压止推轴承 空气静压导轨 双维精密工作台 

分 类 号：TN05[电子电信—物理电子学]