弱信号检测技术在电声扫描显微镜研制中的应用  

作　　者：殷庆瑞[1] 惠森兴[1] 江福民[1] 张慧静[1] 王通[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海硅酸盐所,上海200050

出　　处：《数据采集与处理》1992年第S1期80-83,共4页Journal of Data Acquisition and Processing

摘　　要：电声扫描显微镜是近年发展起来的一种新型检测成像工具。由于它的成像原理基于微观热学与弹性变化,因而它具有常规扫描显微镜无法比拟的优点:试样的非破坏性亚表面剖面成像。电声扫描显微镜也是高新技术结合的产物,它的产生也得力于弱信号检测技术的发展。本文简要介绍了电声扫描电镜的工作原理、结构及其应用,侧重介绍了弱信号检测技术在该仪器研制中的应用。

关 键 词：扫描显微镜 弱信号检测 亚表面 锁相放大器 工作原理 压电陶瓷传感器 声信号检测 频率稳定 二次电子像 调制系统 

分 类 号：TP274.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]