晶体相场法研究衬底小倾角对界面形态演化的影响  

作　　者：黄礼琳[1] 罗志荣[1,2] 王震[1] 黄创高[1] 高英俊[1,3] 

机构地区：[1]广西大学物理科学与工程技术学院,广西南宁530004 [2]玉林师范学院物理科学与工程技术学院,广西玉林537000 [3]广西大学广西有色金属及特色材料加工重点实验室,广西南宁530004

出　　处：《广西物理》2013年第3期10-13,共4页Guangxi Physics

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51161003;50661001);广西自然科学基金重点资助项目(2012GXNSFDA053001);广西大学广西有色金属及特色材料加工重点实验室开放基金(GXKFJ12-01)

摘　　要：采用晶体相场模型模拟了异质外延过程中不同衬底倾角时外延层的生长过程,研究了较大晶格错配度(??10.0)时不同衬底倾角下外延层的生长形貌和界面平均厚度,分析了晶格失配和衬底倾角对外延层的影响。研究表明,在错配度较大时,随着衬底倾角的增大,外延层由层状生长(0°与1°)转变为岛状生长(2°)。

关 键 词：异质外延 晶体相场模型 失配位错 

分 类 号：O781[理学—晶体学]