洁净室规范对设备材料的要求  

The Requriment of Cleanroom Code for Equipment and Materials

作　　者：陈霖新[1] 

机构地区：[1]中国电子工程设计院

出　　处：《洁净与空调技术》2004年第2期44-48,共5页Contamination Control & Air-Conditioning Technology

关 键 词：洁净室 设备材料 洁净度 工程设计 空气吹淋室 

分 类 号：TU831[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]