透射电子显微学的新进展Ⅰ透射电子显微镜及相关部件的发展及应用  

Progress of transmission electron microscopy Ⅰ Development of transmission electron microscope and related equipments

作　　者：李斗星[1] 

机构地区：[1]中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,辽宁沈阳110016

出　　处：《电子显微学报》2004年第3期269-277,共9页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No 50271074;90206044);国家重点基础研究发展规划资助项目(No 2002CB613503).

摘　　要：本文综述了透射电子显微镜(TEM)及相关部件,即场发射枪(FEG)透射电子显微镜、慢扫描电荷耦合器件(SSCCD)、球差校正器、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用。商业化的UltraScan1000SSCCD的读写速度已达4MHz,接近实时观察图像的目标;已生产出用于TEM和STEM的球差校正器,可把CM200FEGTEM的球差系数从常规的1 23mm调整至+2mm～-0 05mm之间的任意值;单色器可把肖特基场发射枪发射电子的能量分散从0 6～0 8eV减少至0 04～0 1eV;新一代能量过滤成像系统HR GIF可把能量分辨率从0 8eV提高至0 05eV。配有单色器、球差校正器、HR GIF的新一代场发射枪透射电子显微镜可提供亚埃的空间分辨率和亚电子伏特的能量分辨率,为研究物质的原子 电子结构提供了可靠的保证。This paper reviews the development of transmission electron microscope and related equipments such as field emission gun transmission electron microscope, slow scan CCD camera, spherical aberration corrector, monochromator and high energy resolution filter. The readout speed of commercial new type SSCCD camera-UltraScan 1000 is 4MHz; the C_S value of CM200 FEG TEM can be adjusted to any values between 2mm to -0.05 mm from 1.23mm using commercial C_S corrector; the energy dispersion of electron gun can be reduced to 0.04～0.1eV from 0.6～0.8eV using monochromator; the energy resolution of new type of HR-GIF enhanced to 0.05eV from 0.8eV. A sub-angstrom spatial resolution and sub-eV energy resolution can be reached in new type of FEG TEM in combination with monochromator, C_S corrector and HR-GIF.

关 键 词：场发射枪透射电镜 慢扫描电荷耦合器件 球差校正器 单色器 高分辨能量过滤器 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]