滚珠丝杠螺距误差前馈补偿法提高X-Y工作台定位精度的研究  

Research on the Method of Lead-Screw Error Compensation for Improving X-Y Table Position Accuracy

作　　者：袭著燕[1] 路长厚[1] 郭涛[1] 张建川[1] 

机构地区：[1]山东大学机械工程学院,济南250061

出　　处：《机械科学与技术》2004年第7期805-808,共4页Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering

基　　金：教育部科学技术研究重点项目 (10 4111)资助

摘　　要：在详细论述了激光多普勒测量仪的原理及测量方法后 ,对滚珠丝杠螺距误差的情况进行了分析 ,通过软硬结合的方法对重复定位误差和螺距误差的补偿进行了研究 。On the basis of the discussion of the principle and measurement method of LDDM, this paper analyses the sources of the lead screw error. Compensation of repetitive position error and lead screw error is investigated by the software and hardware method, and the experiment verifies the effectiveness of the method.

关 键 词：X-Y工作台 激光多普勒测量仪 螺距误差 定位精度 

分 类 号：TH133[机械工程—机械制造及自动化]