将数学形态学应用于检测芯片机器视觉的研究  

A research on computer vision system of chip inspection by mathematics morphology

作　　者：左建中[1] 张新荣[1] 李乃华[1] 

机构地区：[1]天津大学,天津300072

出　　处：《制造业自动化》2004年第5期1-3,共3页Manufacturing Automation

基　　金：天津市自然科学基金重点资助项目(993800511)

摘　　要：研制检测集成电路芯片的机器视觉系统,采用数学形态学方法对芯片图像进行滤波平滑处理,用于改善芯片图像的质量。结果表明:将数学形态学应用于检测芯片的机器视觉系统,提高了系统的检测速度和检测的准确性,满足了检测流水线对机器视觉系统检测实时性的要求。A research on computer vision of chip inspection. we use mathematics morphology to filterand smooth the noise of chip image to enhance the quality of image. The result show that:The method of mathematics morphology makes inspection system have a faster speedand higher precision, that can meet the real time inspection requirement of product line.

关 键 词：数学形态学 机器视觉 自动检测 集成电路芯片 

分 类 号：TP391[自动化与计算机技术—计算机应用技术]