X射线能谱分析的新进展  

作　　者：章一呜 

机构地区：[1]中国科学院北京科学仪器研制中心

出　　处：《电子显微学报》1993年第2期194-194,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：伴随着计算机技术的迅速发展,在近15年中X射线能谱仪及其分析方法突飞猛进。从1984年开始第三代的能谱仪问世,虽然它不仅可从事微区元素分析,而且可以进行图像处理和图象分析,成为发展最快使用最广的微区分析仪器。但是在超轻元素的分析、对谱线重叠的元素的定性分析、图像处理和图像分析的功能和速度方面还存在一系列问题有待改进。一:从1990年开始,出现了第四代能谱仪,目前正在第三代和第四代能谱仪的交替过程中,相信在不久的将来第四代能谱仪将在商品市场上完全替代第三代能谱仪。现以同一公司生产的这两代能谱仪在硬件方面的主要差别罗列于下:

关 键 词：X射线谱仪 能谱 晶体分析 

分 类 号：TH838.3[机械工程—仪器科学与技术] O723[机械工程—精密仪器及机械]