激光原子力显微镜及其对光学材料表面的观察  

作　　者：钱建强[1] 高崧[2] 于劲[2] 李成基[3] 商广义[2] 贺节 姚骏恩[2] 

机构地区：[1]冶金工业部自动化研究院 [2]中国科学院北京电子显微镜实验室 [3]中国科学院半导体研究所

出　　处：《电子显微学报》1993年第2期198-198,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：自1985年Binnig等人发明第一台原子力显微镜以来(简称AFM),AFM得到了迅速发展。它利用力敏感元件微悬臂的尖端作为探针,当针尖与样品非常接近时,它们之间的原子斥力使微悬臂发生偏转,用电学或光学的方法将这一偏转探测出来,送入一反馈装置,该反馈装置调节样品的高度,以使微悬臂偏转程度不变,当样品对微悬臂扫描时,便可得到样品表面图像。

关 键 词：激光 原子力显微镜 光学材料 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学] TH742.64[机械工程—光学工程]