激光原子力显微镜及其对光学表面粗糙度的研究  

作　　者：钱建强[1] 于劲[2] 高崧[1] 姚骏恩[1] 

机构地区：[1]中国科学院北京电子显微镜实验室 [2]中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室

出　　处：《电子显微学报》1993年第2期200-200,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：自一九八五年,Binnig与斯坦福大学的Quate和IBM公司苏黎士实验室的Christoph合作推出了世界上第一台原子力显微镜(简称AFM)以来,AFM的研究及应用迅速扩展。它不仅象扫描隧道显微镜那样能从原子尺度上对导体、半导体表面而且还能对非导体的表面进行成像,拓宽了STM的应用范围。

关 键 词：激光 原子力显微镜 光学原件 粗糙度 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学] TH742.64[机械工程—光学工程]