高分辨率扫描类电镜图像处理和分析测量系统  

作　　者：胡问国[1] 周开邻[1] 胡志华[2] 吴永强[1] 马琳[1] 

机构地区：[1]云南大学物理系 [2]昆明物理研究所

出　　处：《电子显微学报》1993年第2期193-193,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：我们研制成功一套高分辨率的扫描类电镜用的图像处理系统,可直接连接到任一台扫描电镜(SEM)、电子探针(EPMA)、透射电镜(TEM)的扫描附件和扫描隧道显微镜(STM)等扫描类电镜(简称电镜)上采集电镜图像信号和样品成份的X射线面分布像的信号存入计算机。经系统的硬件软件作图像处理后,图像的清晰度,信噪比可得到提高(如图1所示)。本系统的图像分辨率为1024×1024像素点阵,具有256个灰度级的高质量电镜图像。

关 键 词：电子显微镜 EPMA TEM 图像处理 测量系统 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]