扫描电子显微镜探头系统故障诊断和排除  

作　　者：李荣华[1] 

机构地区：[1]华侨大学物理化学研究所,泉州362011

出　　处：《分析仪器》1993年第1期69-72,共4页Analytical Instrumentation

摘　　要：本文介绍扫描电子显微镜探头系统的常见故障,分析了故障产生的原因,说明了排除故障的步骤。

关 键 词：电子显微镜 探头系统 故障诊断 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]