投影光刻机调焦调平传感技术的研究进展  

Progress in Focus and Level Sensor for Projection Lithography System

作　　者：曾爱军[1] 王向朝[1] 徐德衍[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800

出　　处：《激光与光电子学进展》2004年第7期24-30,共7页Laser & Optoelectronics Progress

摘　　要：阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展,详细介绍了国际上典型的调焦调平传感器,并对多种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较。Importance and technical progress of focus and level sensor for projection lithography system are introduced.Some typical focus and level sensors are described and their principles and key techniques are analyzed and compared.

关 键 词：投影光刻机 调焦调平传感器 逐场调焦调平 步进扫描 步进重复 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]