声光滤光器在膜厚测量上的应用  

Application of Acousto-Optic Tunable Filter to Measuring the Optical Thickness of Thin Films

作　　者：黎俊杰[1] 王勇[1] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所,成都610209

出　　处：《光电工程》1993年第5期53-58,共6页Opto-Electronic Engineering

摘　　要：本文对利用声光可调滤光器测量薄膜的光学厚度进行了理论探讨,并在实验中加以证实。In this paper, the principle of measurement of the optical thickness of thin films is researched and demonstrated experimentally using a visible acousto-optic tunable filter.

关 键 词：膜厚测量 滤波器 声光滤光器 

分 类 号：TN65[电子电信—电路与系统]