“三光栅,四裂相相位反射光栅传感器的研制”  

作　　者：张忠钰 

出　　处：《光仪通讯》1993年第3期57-60,共4页

关 键 词：反射光栅 传感器 研制 三光栅 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]