集成微电路基板清洗新技术与ODS清洗技术  

New Process and ODS Process for Cleaning Substrate of Integrated Micro-Circuit

作　　者：雷文德 

机构地区：[1]广州合琪环保科技有限公司,510070

出　　处：《洗净技术》2004年第9期35-37,共3页

摘　　要：文章介绍了集成微电路基板清洗领域的ODS替代清洗技术。The paper introduces ODS alternative cleaning process for cleaning substrate of integratedmicro-circuit with focus on the utilization of 10-sump ultrasonic cleaning machine for cleaning high precisionIC.

关 键 词：集成电路 清洗 超声波清洗机 ODS替代清洗技术 

分 类 号：TB559[理学—物理]