真空技术及应用系列讲座 第十三讲:真空系统的检测技术  

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作  者:张以忱[1] 

机构地区:[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出  处:《真空》2004年第4期152-152,共1页Vacuum

关 键 词:真空系统 真空仪器 检测 真空规管 热阴极电离规管 

分 类 号:TB771[一般工业技术—真空技术]

 

参考文献:

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