结合体构造的Monte Carlo方法模拟扫描电镜成像衬度  

Monte Carlo simulation of SEM imaging contrast based on constructive solid geometry modeling

作　　者：李会民[1] 丁泽军[1] 

机构地区：[1]中国科技大学结构分析重点实验室,物理系安徽合肥230026

出　　处：《电子显微学报》2004年第4期362-362,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (No .10 0 2 5 42 0 ;2 0 0 75 0 2 6;90 2 0 60 0 9)

关 键 词：MONTE CARLO模拟 扫描电子显微镜 成像衬度 表面形貌分析 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]