一种扫描电镜下纳米操纵台的设计  

Design of nano-manipulator in a scanning electron microscope

作　　者：闫允杰[1] 张友生[1] 彭奎庆[1] 朱静[1] 

机构地区：[1]清华大学电子显微镜实验室,北京100084

出　　处：《电子显微学报》2004年第4期484-484,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (No .90 2 0 60 46)

关 键 词：扫描电子显微镜 纳米操纵台 结构设计 电路设计 机械设计 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]