短脉宽XeCl激光器的实现及光脉冲参数的测量  

Study on Short Pulse Width XeCl Laser

作　　者：任韧[1] 陈长乐[2] 徐进[3] 袁孝[2] 金克新[2] 王永仓[2] 宋宙模[2] 魏炳波[2] 

机构地区：[1]西安交通大学理学院,陕西西安710049 [2]西北工业大学应用物理系,陕西西安710072 [3]西安交通大学生物医学工程所,陕西西安710049

出　　处：《中国激光》2004年第9期1036-1040,共5页Chinese Journal of Lasers

基　　金：国家自然科学基金 (No.6 0 1 71 0 4 3);陕西省自然科学基金 (No.2 0 0 1 C2 1 )资助项目。

摘　　要：研究了高气压短脉宽 Xe Cl准分子激光器的设计、制作和激光参数测试。在大体积高气压下 ,采用同步紫外预电离产生辉光放电方法 ,结合激光器物理设计、电路、光学系统设计 ,调整气体配比、气压、放电电压 ,在气体配比为 HCl:Xe:He=0 .1 %:1 %:98.9%下 ,实现了纳秒放电激励的紫外 30 8nm准分子激光激射 ,脉冲能量 5 30 m J,最小脉冲宽度 1 3ns,矩形光斑 2 cm× 1 cm,束散角 3mrad,最高重复频率 5 Hz,并总结了实验规律。A high pressure, short pulse duration XeCl laser was fabricated, and laser parameters were measured. Aiming at large volume and high gas pressure, the laser system adopted the ultraviolet preionization to produce glow discharge. The result was that the nano-second (ns) discharge pumped 308 nm excimer laser was realized in proportion of HCl∶Xe∶He=0.1%∶1%∶98.9% with the output pulse energy of 530 mJ and the minimal pulse duration of 13 ns. The rectangle facula is 2 cm×1 cm, the beam divergence is 3 mrad, and the maximal repetition frequency is 5 Hz.

关 键 词：激光技术 准分子激光 纳秒放电 预电离 辉光放电 

分 类 号：TN248.22[电子电信—物理电子学]