普莱克斯中国投资公司为半导体行业供气  

作　　者：顾荣而[1] 

机构地区：[1]杭州制氧机研究所

出　　处：《深冷技术》2004年第5期23-23,共1页

关 键 词：普莱克斯中国投资公司 半导体行业 工业气体 SMIC公司 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学] TQ116[化学工程—无机化工]