热剥离薄膜图案化加工方法  

作　　者：韩艳春[1] 王哲[1] 邢汝博[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春应用化学研究所,吉林省长春市130022

出　　处：《科技开发动态》2004年第4期46-46,共1页R&D Information

关 键 词：热剥离薄膜图案化 加工方法 转移微模塑 环氧树脂模板 加工成本 

分 类 号：TQ320.67[化学工程—合成树脂塑料工业]