蓝宝石输出窗的成功封接  

Vacuum Sealing of Sapphire Output Windows in High Power Microwave Device Fabrication

作　　者：袁广江[1] 卢玉华[1] 罗积润[1] 阎旭[1] 吴尔生[1] 郭和忠[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所,北京100080

出　　处：《真空科学与技术学报》2004年第4期299-302,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

摘　　要：基于多弧离子镀技术 ,结合特殊的封接结构和工艺技术 ,成功地实现了蓝宝石输出窗的真空气密封接。通过试验 ,证明封接的蓝宝石输出窗具有良好的真空气密性能、抗热烘烤冲击能力、较好的抗拉强度。这一成功为我国发展高功率和高频率真空微波、毫米波器件奠定了基础。Novel technique has been successfully developed to vacuum seal sapphire output windows in fabricating high power microwave devices, such as high power gyrotron amplifiers. The testing results show many advantages of the vacuum sealing technique, including low leakage, high resistance to repeated heat shock and strong joint.

关 键 词：蓝宝石 封接 高功率 毫米波 输出 器件 高频率 多弧离子镀 抗拉强度 冲击能 

分 类 号：TB756[一般工业技术—真空技术] TN873.3[电子电信—信息与通信工程]