DG-10型数字光栅测微仪  

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作  者:王德荣[1] 王新国[1] 石茂[1] 林舒维 

机构地区:[1]中国科学院力学研究所

出  处:《传感器技术》1989年第6期40-41,4,共3页Journal of Transducer Technology

摘  要:本文介绍一种0~10mm、分辨率1μm数字光栅测微仪,它是一种具有任意零点、高精度的测长系统,由光栅位移传感器和数显仪两部分组成。介绍了其工作原理、主要技术指标和应用。

关 键 词:测微仪 光栅 数字 

分 类 号:TH741.6[机械工程—光学工程]

 

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