石英微机械振动陀螺振子的失效分析  

Failure analysis of quartz micromachined gyroscope

作　　者：荣丽梅[1] 常嗣和[2] 姬红[1] 阮世池[1] 

机构地区：[1]电子科技大学微固学院分析中心,四川成都610054 [2]成都理工大学电镜室,四川成都610059

出　　处：《电子显微学报》2003年第6期620-621,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：微机械惯性器件 振动惯性技术 微电子技术 石英微机械振动陀螺振子 晶体表面加工技术 

分 类 号：V448.23[航空宇航科学与技术—飞行器设计]