扫描电声显微镜成像技术研究  

Study on imaging technology of scanning electron acoustic microscope

作　　者：高椿明[1] 张淑仪[1] 张仲宁[1] 水修基[1] 方健文[2] 

机构地区：[1]南京大学近代声学国家重点实验室,江苏南京210093 [2]浙江师范大学物理系,浙江金华321004

出　　处：《电子显微学报》2003年第6期643-644,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：扫描电声显微镜 成像技术 成像本领 SEAM系统 电子束流强度 调制电路 信噪比 空间分辨率 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]