氮化硅粉末制备新技术  

作　　者：袁向东[1] 李玉英[1] 吴翠珍[1] 

机构地区：[1]山东工业陶瓷研究设计院

出　　处：《陶瓷》1989年第3期52-56,共5页Ceramics

摘　　要：本文介绍了氮化硅陶瓷对氮化硅粉末烧结原料的特性要求，述评了SiO2还系氮化法，硅亚胺热分解法、高温气相反应法，激光气相反应法和等离子体气相反应法等五种氮化硅粉末的制备新技术。

关 键 词：硅粉 氮化硅陶瓷 制备 粉末 光气 亚胺 SIO2 气相反应法 热分解法 

分 类 号：TU528[建筑科学—建筑技术科学] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]