纳米气相二氧化硅制造的核心技术已突破  

出　　处：《有机硅氟资讯》2004年第8期5-5,共1页Silicone and Fluorine Information

关 键 词：纳米材料 气相二氧化硅 制造技术 甲基三氯硅烷 有机硅工业 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程] TQ127.2[化学工程—无机化工]