Y2O3薄膜的制备以及抗划伤性能和摩擦学性能研究  

作　　者：杨生荣[1] 王金清[1] 刘晓红[1] 

机构地区：[1]中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州730000

出　　处：《材料保护》2004年第07B期97-99,共3页Materials Protection

摘　　要：采用自组装成膜技术制备Y2O3薄膜。利用XPS、XRD和AFM分析表征了薄膜的组成和结构。结果发现淀积在基片上的Y2O3薄膜比较致密、均匀且牢固性好。摩擦磨损实验表明：利用该方法制备的Y2O3薄膜经600℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层。

关 键 词：自组装薄膜 Y2O3薄膜 抗划伤性能 摩擦学性能 

分 类 号：TH117.3[机械工程—机械设计及理论]