TiO_2系薄膜型氧敏材料的研究与发展综述  

Research and development of TiO_2 oxygen-sensing thin films

作　　者：李岩[1] 徐明霞[1] 徐艳姬[1] 田玉明[1] 徐廷献[1] 

机构地区：[1]天津大学材料科学与工程学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津300072

出　　处：《传感器技术》2004年第11期12-14,共3页Journal of Transducer Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50072014)

摘　　要：介绍了TiO2薄膜型氧敏材料的特性、氧敏机理及发展优势。就TiO2薄膜型氧敏材料的制备新方法和几种新型TiO2系薄膜以及相应的氧敏性能等重要方面进行了探讨,并对今后的研究与发展方向提出几点建议。The characteristics,oxygen-sensing mechanism and developing advantages of TiO_2 oxygen-sensing thin films are introduced.New preparation methods,some kinds of new TiO_2 system oxygen-sensing thin films and its relative oxygen-sensing properties are discussed.And based on it,some suggestions on the research and development of TiO_2 oxygen-sensing thin films are proposed.

关 键 词：氧敏材料 TIO2薄膜 性能 新型 制备 新方法 机理 特性 

分 类 号：TN304.21[电子电信—物理电子学] TN212