大尺寸球面数字刀口检测技术的研究  

Research on Digital Knife-Edge Testing Technology

作　　者：张均[1] 董军[1] 蔡邦维[1] 张蓉竹[1] 张艳[1] 

机构地区：[1]四川大学光电科学技术系,成都610064

出　　处：《光学与光电技术》2004年第6期10-13,共4页Optics & Optoelectronic Technology

摘　　要：介绍了数字刀口检测原理,建立了检测装置,编制了运算软件,对φ125～150mm口径的球面镜进行检测,获得了面形分布.通过与干涉仪测量结果相比较,验证了数字刀口检测方法的可行性,为镜面误差的加工修正提供了依据.This paper introduces the principle of digital knife-edge testing, experimental instruments and programs. The surface characteristics of φ125mm~φ150mm spherical mirrors are obtained. Comparing with the testing results of interferometer, the digital knife-edge testing technology is available and can provide theoretical basis for surface modification.

关 键 词：光学面形检测 数字刀口 定量分析 

分 类 号：TH741.3[机械工程—光学工程]